所屬企業(yè)：中國(guó)有研科技集團(tuán)有限公司 發(fā)布時(shí)間：2026-01-06
一、成果簡(jiǎn)介
本產(chǎn)品由有研工程技術(shù)研究院有限公司開(kāi)發(fā)，集成39項(xiàng)專利成果，可用于半導(dǎo)體靶材用超高純金屬原材料批量生產(chǎn)，所熔煉的超高純金屬銅、鉭、鈷、鎳純度分別達(dá)到99.9999%、99.9999%、99.999%和99.995%，超高純銅、鉭鑄錠直徑達(dá)到280mm、400mm。已應(yīng)用于1600kW超高純金屬電子束熔煉爐項(xiàng)目。
二、主要指標(biāo)
（一）最大功率：1600kW；
（二）電子槍功率：800kW；
（三）加速電壓：60kV；
（四）最大偏轉(zhuǎn)角：±45°；
（五）極限真空度：5×10-4Pa；
（六）升壓率：0.67Pa/h。
三、聯(lián)系方式
朱寶宏，13810118386，zhubh@grinm.com
【責(zé)任編輯：劉祉妤】