所屬企業：中國機械工業集團有限公司 發布時間：2026-01-05
一、成果簡介
本產品由沈陽儀表科學研究院有限公司開發，集成15項專利成果，獲得2項國家級獎項、1項省部級獎項。產品突破高端薄膜器件膜系設計、工藝制造、精準檢測等技術瓶頸，核心指標性能與同類產品相當，已在生物檢測、集成電路裝備等領域應用，銷量超10萬件。
二、主要指標
（一）峰值透射率＞93%；
（二）截止深度＞OD6；
（三）193nm反射率＞97%（45°）。
三、聯系方式
馬軼男，15142001850，tigerman7@163.com
【責任編輯：孫華宇】
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